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椭圆偏光仪

名称: 椭圆偏光仪

型号:

品牌: Otsuka

  • 详细信息

特点:
?椭圆偏振术量测紫外光到可见光波长椭圆参数。
?0.1nm以上奈米级光学薄膜厚度量测。
?400波长以上多通道分光的椭偏仪,高速量测椭圆偏光光谱。
?可自由变换反射量测角度,得到更详细的薄膜解析数据。
?非线性*小平方法解析多层膜、光学常数。


测量内容:
?厚度测量
?折射率n、消光系数解析k


参数:

膜厚量测范围

0.1 nm ~

波长量测范围

250~800 nm(可选择350~1000nm)

感光元件

光电二极管阵列512ch(电子制冷)

入射/反射角度范围

45~90°

电源规格

AC1500VA(全自动型)

尺寸

1300(H)×900(D)×1750(W)mm

重量

约350kg(全自动型)


应用范围:
?半导体晶圆
?电晶体闸极(Gate)氧化薄膜、氮化膜,电极材料等
?SiO 2、SixOy、SiN、SiON、SiNx、Al 2 O 2、SiNxOy、poly-Si、ZnSe、BPSG、TiN
?光阻剂光学常数(波长色散)
?化合物半导体
?AlxGa (1-x) As多层膜、非结晶矽
?平面显示器
?配向膜
?电浆显示器用ITO、MgO等
?新材料
?类钻碳薄膜(DLC膜)、超传导性薄膜、磁头薄膜
?光学薄膜
?TiO 2、SiO 2、多层膜、抗反射膜、反射膜
?平版印刷领域
?g线(436nm)、h线(405nm)、i线(365nm)、KrF(248nm)等于各波长的n、k值评价


应用:
?非线性*小平方法比对NIST标准样品(SiO 2)膜厚精度确认

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