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桌上型椭圆偏光仪

名称: 桌上型椭圆偏光仪

型号:

品牌: Otsuka

  • 详细信息

特点:
?400波长以上多通道分光的椭偏仪,高速量测椭圆偏光光谱。
?自动变更反射量测角度,可得到更详细的薄膜解析数据。
?采用正弦杆自动驱动方式,展现量测角度变更时优异的移动精度。
?搭载薄膜分析所需的全角度同时量测功能。
?可量测晶圆与金属表面的光学常数(n:折射率、k:消光系数)。


测量内容:
?膜厚测量


参数:

样品对应尺寸

100 × 100 mm

量测方式

偏光片元件回转方式

入射/反射角度范围

45 ~ 90°

入射/反射角度驱动方式

反射角度可自动变更

波长量测范围

300 ~ 800 nm

分光元件

Poly-chrometer

尺寸

650(H)× 400(D)× 560(W)mm

重量

约50 kg


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