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显微分光膜厚量测仪

名称: 显微分光膜厚量测仪

型号:

品牌: Otsuka

  • 详细信息
特点:
?优异的性价比,低价格却可达到相近于高端膜厚计的量测再现性。
?中文化操作介面,入门简易、沟通无障碍。
?提供完整量测教学、技术支援、点检校正等售后服务。
?采用标准样品验证膜厚精度与再现性,确保追溯体制的完整。
?显微镜聚焦下的微距口径量测。

测量内容:
膜厚测量


参数:

量测规格

膜厚范围

20nm~20μm

波长范围

400nm ~780nm

膜厚精度

±1nm以内*1

重复再现性(2σ)

0.5nm以内*2

选配品

样品台尺寸

200mmx200mm以内可客制化

量测口径(10倍物镜时)

φ20μm、φ 40μm、φ60μm

电脑设备

需支援至少三个USB以上之笔记型或桌上型电脑

作业系统

Windows XP / 7(32bit)

量测物镜

5倍、10倍、20倍

软体功能

膜质解析

n:折射率、k:吸光系数

膜厚量测法

FFT法、波峰-波谷法、曲线近似法(Fitting)


应用:
?半导体晶圆膜、FPD薄膜材料、树脂膜、光阻膜、氧化膜、包装膜、光学镀膜、抗反射膜、透明或半透明膜层


应用范例:
?Si基板上99.4nm的SiO2膜
?Si基板上1018.2nm的SiO2膜


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