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主动隔振平台

名称: 主动隔振平台

型号: STACIS III

品牌: TMC

  • 详细信息

概述

STACIS® III是一种灵活的高级主动隔振系统。STACIS采用先进的惯性振动传感器、先进的控制算法和最先进的压电致动器,通过连续测量地面活动,然后扩展和收缩压电致动器来过滤地面运动,以实时消除振动。

 

STACIS最初设计用于隔离先进半导体工厂中的精密微光刻、计量和检测设备,现已成为嘈杂环境(包括但不限于半导体工厂、失效分析实验室、纳米技术研究、纳米制造设施和材料研究中心)中最敏感仪器的行业标准解决方案。

 

STACIS III包括一个全新的改进型数字控制器DC-2020。这款全新的高级控制系统在前后面板上采用了新的双核处理器、以太网以及USB串行端口,为用户提供了现代化且易于使用的图形用户界面(GUI)。STACIS在全球已拥有数百个成功的安装案例,是理想的隔振系统,适用于对振动最为敏感的仪器。

 

 

主动隔振光学平台系统STACIS III的优势

STACIS比空气隔振器硬数百倍,没有任何空气隔振系统的局限性。它没有“软”悬架,与主动空气系统不同,STACIS可以放置在带有内部主动空气隔振系统的工具下方,使两个系统都在最佳状态下运行。

 

独特的串行设计和专有的高力压电技术,可实现0.6 Hz至150 Hz的宽主动带宽和从2 Hz开始减振90%的卓越主动隔振性能。

 

主动隔振光学平台系统STACIS III特征

? 最新改进型DC-2020数字控制器,提供易于使用的图形用户界面

? 隔振开始于0.6赫兹,1Hz时达到40%至70%的隔离率

? 频率2赫兹和更高时,垂直和水平隔振率大于90%

? 降低基础设施的要求和建设成本,即使有较大外界震动设备也可正常运行

? 有效隔振范围,0.6Hz到150Hz

? 获得众多用户的广泛认可和肯定

? 6向自由度硬安装设计,无需空气悬架

? 强大的控制系统无需定期重新校准

? point-of-use设计方案,与客户现有隔振系统无缝兼容

? 随着外部环境改变,系统自动调节以适应不同外部震动情形

? TMC的STACIS®技术使用压电执行器主动消振

? 数字控制器与基于PC的图形用户界面(GUI)

? 提高客户产品产量、质量、成品率。

? 符合RoHS标准

? 最宽的主动隔振带宽,完美的低频隔振效果

? 亚赫兹的主动震动消除,最主要在0.6-6Hz频段内的隔振

? 可堆叠式设计

? 主动硬式安装结构、而非软式悬浮、无低频漂移、主动元件与刚性弹簧相连

? 被动弹簧滤除了来自STACIS传感器的负载谐振,需要的调谐非常少,甚至无需调谐

? 由于阻抗不匹配,可兼容仪器内部隔离器

? 负载可达2000kg

? 市场上完美的主动隔振系统

 

性能

使用VC-C(500 μ英寸/秒,12.5 μ米/秒 RMS)的模拟振动来测试4500磅(2045千克)有效载荷

 

规格

性能规格

主动自由度 6
主动带宽 0.6 Hz - 150 Hz
被动固有频率 18 Hz垂直和水平
有效的主动共振频率 0.5 Hz
1 Hz时的隔振 40% - 70%
≥2 Hz时的隔振 ≥90%
10磅(4.5千克)步进输入后的稳定时间(减少10:1) 0.3秒
内部噪音 <0.1 nm RMSd>
每个隔振器的工作负载范围 低承重能力:400 - 1100磅(181 - 499千克)
中等承重能力:900 - 2100磅(408 - 953千克)
高承重能力:1900 - 4500磅(862 - 2041千克)
刚度(1000磅 / 454千克质量、中等承重能力隔振器) 40,000磅/英寸(73 x 105牛/米)
从距离隔振器最大4英寸(102毫米)处发射的磁场 <0.02 μG broadband RMSd>

隔振器设计、尺寸、环境和效用要求
环境和安全 符合CE和RoHS标准
主动隔振元件 最小承重能力为3300磅(1500千克)的压电致动器接收来自高压放大器的信号,其输出高达800 VDC。垂直执行器支撑隔振的有效载荷
被动隔振元件 单个硬质各向同性弹性体(无需压缩空气源)
振动传感器元件 向下的地震检波器型惯性传感器,用于测量隔振器下方的地面振动,并提供与振动运动速度成正比的电压
主动反馈控制回路 在支撑隔振表面的弹簧下方测量、处理和衰减地面振动
隔振器尺寸(宽 x 深 x 高) 11.75 x 12.5 x 10.8英寸 300 x 320 x 275 mm
隔振器重量 75磅(34千克)
工作温度 50° - 90°F
10° - 32°C
储存温度 -40° - 130°F
-40° - 55°C
湿度 30 - 60%
系统电源要求 100、120、230、240 VAC
50/60 Hz AC; <600 W
符合CE标准
地面位移 <480 μin. (12 μm) below 10 Hzd>
每个系统的隔振器数量 至少3个
可选附件 层压不锈钢平台、框架、立管、调平装置、抗震装置、提升罩

DC-2020控制器规格
尺寸(宽 x 深 x 高) 19 x 8.5 x 1.75英寸
483 x 216 x 45 mm
重量 6.3磅(2.9千克)
处理器 150/75 MHz双核
采样率 10 kHz
模拟输出 16个通道
模拟输入 16个通道
状态灯 单个LED
前面板端口 1个串行USB 2.0
1个串行Micro-USB
1个以太网RJ-45
2个BNC
后面板端口 1个串行USB 2.0
1个以太网RJ-45
1个RS-232 DB-9传统串行,用于传统的STACIS 2100隔振器
用户界面 前面板液晶显示屏
超级终端上的字符菜单
适用于Microsoft Windows的扩展GUI
嵌入式以太网GUI

STACIS用户及应用领域

1、微电子、半导体

? 晶片检测

? 显微光刻技术

? 掩膜校准

2、科学研究、纳米技术

? SEM、TEM

? STEM、SPM

3、激光台

? 生命科学、药物研发

4、工业应用

? 精密加工

 

为什么要选择主动系统?

? 从<1Hz开始强烈消除地面震动,气动平台在这一低频处无法起到有效的隔振

? 提高质量、生产量

? 更加细小特色的成像能力

? 前沿研究

? 比气动平台更稳定

? 满足SEM标准地点安装参数的唯一解决方案

? 使得新实验室及研究设备的工程造价更低

 

主动系统为何选择STACIS

? 正中了科研者的的心声,提供了尽可能完美的无震环境。

? 市场上完美强劲的低频隔振系统。

? 目前所有的SEM厂商都公布了安装参数要求,其需要的震动参数需要主动隔振系统才能满足。

? STACIS首次发明于1990s,经TMC进一步发展,开发和安装了数以千计的主动隔振系统,这是主动隔振控制领域的提供的可靠解决方案。

 

STACIS相比气动隔离器刚性大几百倍

稳定时间作为对扰动的响应,由于独特的串联式设计,而大大缩短,理想应用于机械制造、动态负载、激光或者光源需要安装的独立刚性台面的情况下。

 

如下优势在业内都是无与伦比的

? STACIS的主动隔振带宽为0.6Hz -150Hz

? 6个自由度的主动震动消除,在1Hz时隔振8-10dB 

? 从2-3Hz时,隔振可达90% (20dB) 

 

专业的环境调查

1、安装前后的环境调查,包括震动、磁场、声波

2、安装后可提供环境系统体系认证

? 完善的环境调查服务

? 开具专业环境报告

? 提供震动、磁场、声波检测及解决方案

? TMC基于其广泛经验向用户推荐实用性方案 

? 40多年的行业经验,业内的领导者

 

应用照片






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