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SEM主动隔振基座

名称: SEM主动隔振基座

型号: SEM-Base?

品牌: TMC

  • 详细信息

STACIS®iX SEM-Base™主动振动抵消平台系统,设计用于扫描电子显微镜。SEM是高精密仪器中常见的振动敏感仪器之*。这些精密仪器通常内置隔振系统,以解决从地板和SEM外壳5-10赫兹以上频率的振动。 SEM-Base兼容扫描电镜内部隔震控制系统,积极减轻地板传递的0.6赫兹开始的低频振动。

SEM-Base消震系统设计紧凑,性价比突出,替代前*代65系列STACIS®隔震平台。它集成STACIS技术,相对更小的占地面积,安装简单,无需后续调试或很少校准服务。

SEM-base带有4个主动隔离器,配合压电执行器支撑具有阻尼的平台,可以有效解决1MHz开始的振动。系统配备TMC的DC 2000数字控制器,实时监控和调整。该系统只有6.5“高,平面尺寸35.5”×44.5“,重约500磅,可以支撑900至2500磅精密仪器,无需空气悬架。


注:请参阅SEM-closure™,全面环境解决方案专为SEM设计。它可协同SEM-Base和MAG-NetX的™ - 为SEM隔离震动,磁场干扰和噪声。

 

Specifications:


Performance:


Application Notes

▼App_Note_SEM_Base.pdf
▼SEM-Base Application Note.pdf
▼TMC PSU Case Study.pdf


Application Photos:






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